擴(kuò)散爐
發(fā)布時(shí)間：
2018-08-22 14:57
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擴(kuò)散爐種類很多，按每臺(tái)爐子的爐管數(shù)可分為單管爐和多管爐；按結(jié)構(gòu)形式可分為臥式和立式；按恒溫區(qū)長度可分為大、中、小三種，大型的恒溫區(qū)可分為大、中、小三種，大型的恒溫區(qū)為600-400毫米，中型的為400-200毫米，小型的為200毫米左右。擴(kuò)散爐的分類主要有以下幾種：
1、單管擴(kuò)散爐
每臺(tái)擴(kuò)散爐只有一個(gè)爐管、一套溫度控制器和可控硅裝置的擴(kuò)散爐。結(jié)構(gòu)簡單，但由于受半導(dǎo)體工藝車間凈化面積的限制，一般多采用多管擴(kuò)散爐。
2、多管擴(kuò)散爐
每臺(tái)爐子由二個(gè)或二個(gè)以上爐管的擴(kuò)散爐。目前大多數(shù)采用三管爐。使用時(shí)將兩臺(tái)三管爐靠背放置即成六管爐。使用時(shí)將兩臺(tái)三管爐背靠背放置即成六管爐，它只需配置一套凈化臺(tái)，從而縮小了占地面積和凈化費(fèi)用。
3、臥式擴(kuò)散爐
爐膛呈水平放置的擴(kuò)散爐。結(jié)構(gòu)分為上下架。上架放置爐體，下架有溫度控制器和可控硅裝置，其數(shù)目與爐管數(shù)目相同。
此外擴(kuò)散爐的分類還有雙溫區(qū)真空擴(kuò)散爐和激光功率擴(kuò)散爐等。
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